专利类型：发明专利

1. 专利名称：一种微型皮拉尼计

发明人：汪学方；刘川；罗小兵；黎藜；张卓；甘志银；张鸿海；刘胜

2. 专利名称：一种微机系统的圆片级真空封装工艺

发明人：汪学方；黎藜；张卓；刘川；甘志银；张鸿海；刘胜

3. 专利名称：一种微机电系统的圆片级真空封装方法

发明人：汪学方；黎藜；张卓；刘川；甘志银；张鸿海；刘胜

4. 专利名称：MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法

发明人：汪学方；刘川；张卓；罗小兵；甘志银；张鸿海；刘胜

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